Interferometre

Interferometre de lumină albă de înaltă precizie pentru măsurători de distanță și grosime fără contact

interferoMETER 5400-DS

Interferometru cu lumină albă pentru măsurarea absolută a distanței cu precizie nanometrică

Măsurători de distanță absolute, precise la nivel nanometric, potrivite pentru profiluri treaptă

Măsurarea distanței multi-vârf pentru obiecte transparente

Senzori compacți și robuști cu distanță mare de offset

Rată de măsurare de până la 6 kHz pentru măsurători de mare viteză

Controler robust cu răcire pasivă

Configurare ușoară prin interfață web

Senzori compacți, disponibili și cu traseu de fascicul la 90°

interferoMETER 5400-TH

Interferometru cu lumină albă pentru măsurarea stabilă a grosimii cu precizie submicronică

Măsurare a grosimii cu precizie nanometrică și măsurarea grosimii multistrat, chiar și cu distanțe variabile și ținte vibrante

Măsurare stabilă de la distanță mare, chiar și pentru ținte cu strat antireflexie

Senzori optimizați pentru industrie, cu carcasă robustă din metal și cabluri flexibile

Rată de măsurare de până la 6 kHz pentru măsurători de mare viteză

Configurare ușoară prin interfață web

interferoMETER 5600-DS

Interferometru cu lumină albă pentru măsurarea absolută a distanței cu rezoluție subnanometrică

Măsurarea distanței cu precizie subnanometrică

Cel mai bun din clasă: Rezoluție de 30 picometri

Măsurare absolută, potrivită pentru profiluri treaptă

Senzori compacți și robuști cu distanță mare de offset

Rată de măsurare de până la 6 kHz pentru măsurători de mare viteză

Configurare ușoară prin interfață web

Senzori și cabluri adecvate pentru utilizare în vid

Senzori compacți disponibili și cu traseu de fascicul la 90°

IMS5420-TH

Interferometru cu lumină albă pentru inspecția de înaltă precizie a placilor

Măsurare a grosimii cu precizie nanometrică

Multi-peak: achiziționarea de până la 5 straturi cu grosimea de siliciu între 0,05 și 1,05 mm

Rezoluție ridicată pe axa z de 1 nm

Rată de măsurare de până la 6 kHz pentru măsurători rapide

Interfețe: Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP

Parametrizare ușoară prin interfață web